| 台特化矽乙烷 將量產 2015-08-10 04:53:18 經濟日報 記者簡永祥／台北報導 由昇陽科（3561）、帆宣、F-基勝等公司注資的台灣特用化學品（台特化）成功產出高純度矽乙烷，將快速導入量產，可望成為亞洲第一家、也是台灣首家有能力量產矽乙烷的半導體材料商，補足台灣半導體上游供應鏈最關鍵的一塊版圖。 據了解，台特化產出的矽乙烷，經送樣準備投入14奈米量產的美國半導體大廠，以及生產3D儲存型快閃記憶體（NAND Flash）的日商東芝之後，獲業界高度重視，兩家半導體大廠計劃包下台特化所有矽乙烷產能。 台特化以台塑集團資深研發人員為班底，2013年3月接收原投入生產太陽能用材料的科冠公司設備，並在昇陽科、帆宣、F-基勝及中華開發、統懋及港商冠譽等六大公司注資下，由太陽能轉向全力進攻半導體先進製程所需的化學品和氣體。 台特化捨過去太陽能產業所採用的西門子製程，採用矽鎂合金法，並藉由改變矽美合法製程，產出全球矽乙烷最高比率的新製程。 台特化董事長兼總經理謝嵩嶽表示，台特化經練兵多年，目前已在先導工廠成功產出高於國際標準的矽乙烷，成為繼美商Voltaix及日商三井化學之後，全球第三家高純度矽乙烷供應商。 謝嵩嶽表示，台特化將這項成就擴大建立量產線，在彰化彰濱工業區建立量產工廠，第一期斥資逾12.5億元，興建年產30公噸的矽乙烷及500公噸的矽甲烷產能，預定2017年再擴大一倍到年產60公噸的矽乙烷和1,000公噸的矽甲烷。 謝嵩嶽強調，矽甲烷和矽乙烷均為半導體用化學材料，但隨半導體製程進入20奈以下，為了因應矽晶圓更薄及三度空間的線路設計，達到製程散熱和線路均勻散布提升製程良率，矽乙烷已成為各大半導體商推動MVP計畫不可或缺的材料。 據估計，明年投入20奈米以下製程包括英特爾、台積電、三星、東芝、美光等，每家矽乙烷需求量都達30至60公噸不等，但目前能大量供應廠商屈指可數。 |
