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艾司摩爾（ASML）全球副總裁暨中國區總裁沈波8日表示，目前用於先進製程的極紫外光（EUV）機台仍無法出貨大陸客戶，其他產品都可以出貨。這意味中芯雖然無法導入7奈米以下高階製程生產，無力與台積電競爭，但在其他成熟製程使用的深紫外光（DUV）關鍵設備取得無虞。

沈波此言，打破日前業界傳出中芯添購DUV機台不順的傳聞，意味兩岸晶圓代工業成熟製程擴產大賽並未停歇，中芯與聯電、世界先進、力積電之間的成熟製程競賽持續拉鋸。先前業界預期若中芯因DUV取得不順將使得成熟製程產能吃緊狀況延後舒緩的狀況，也面臨修正。

沈波8日在上海參加第四屆中國國際進口博覽會（進博會）接受媒體訪問時，釋出相關訊息。他強調，近年大陸市場占艾司摩爾全球銷量比重約三成左右，目前在大陸的裝機量已經接近1,000台，產品能夠支持客戶需求，為客戶提升效率優化成本。

中芯因應晶圓代工成熟製程需求強勁，已於深圳、上海等地啟動擴產，預計斥資逾110億美元（約新台幣3,080億元），新產能2023年陸續開出。

市場先前傳出，中芯與艾司摩爾簽約購買的DUV還未到貨，隨著採購協議的最後期限臨近，這筆訂單可能跳票，危及中芯擴產，並牽動全球晶圓代工成熟製程市場動態。

沈波強調，目前艾司摩爾用於先進製程的EUV機台仍無法出貨大陸客戶，其他產品都可以出貨。此言間接證實中芯依舊無法擴產高階製程，但其它成熟製程擴產的DUV機台則不受影響。

艾司摩爾是全球最大半導體微影機設備商，今年第三度參展進博會，並在展會上透過3D影片，分享微影機的基本原理，光源經過聚光鏡聚光投向光罩，再穿過光罩上的電路圖案，透過投影物鏡將影像聚焦到晶圓上。

面對旺盛的需求，沈波表示，整個產業鏈正處於非常緊張的狀態，在晶片製造設備供應商中，公司供貨周期一般為一年，這是由於微影機相對複雜，並且客戶對公司產品的需求相對更多，所以近年來擴產幅度在歷史上前所未有，但擴產也面臨局限。

由於供應鏈長，艾司摩爾的擴產不可避免面臨供應鏈原材料短缺問題，由於該公司有幾千家供應商，這些供應商必須每一家都要配合同時進行產能擴張，整合起來並非易事，沈波指出，艾司摩爾約85%的零件都是供應商提供，公司的工作是集成（統整），有時候比製造更困難。

沈波表示，艾司摩爾已經在擴大產能，並運用公司的安全庫存提升交貨，但由於產業鏈太長，暫時還沒有辦法完全滿足用戶需求，「但我們平等對待全球每一個客戶，即使在產能上漲的情況下，也沒有漲價。」

<摘錄經濟>