未上市  

2010年台DRAM廠將決戰50和40奈米製程技術，但新製程關鍵恐未

必在技術上，而在於浸潤式微顯影(Immersion Scanner)機台設備採

購是否能跟上腳步，近業業界傳出瑞晶機台原本2月要交貨，但目

前交期已遞延至4月，南亞科和華亞科之前亦傳出機台交貨不及，

公司則澄清前期機台已順利拉進來，轉換製程進度一切正常。

DRAM廠決戰50和40奈米製程技術最大挑戰是資金問題，其中，

機台購置成本佔相當大比重，由於1台機台設備動輒要價新台幣

10億元，且每台機器產能約僅1萬牙，由於1台機台設備動輒要價

新台幣10億元，且每台機器產能約僅1萬片，若1座產能達10萬片

的12吋晶圓廠要轉換製程，光是機台支出便高達100億元，因此，

大部分DRAM廠2009年都無力轉進50奈米製程。

隨著DRAM景氣逐漸復甦，各廠開始為轉進50奈米製程做準備，

並針對機台下訂單，由於從下訂到交貨需要很久時間，日前甚至

傳出三星電子(Samsung Electronics)將設備廠機台產能都包下，使

得其化DRAM廠很難訂貨價，趁機阻礙競爭對手製程微縮進度，

儘管台廠與國際大廠聯合採購機台較具優勢，像是南亞科、華亞

科與美光(Micron)共同採購，力晶、瑞晶與爾必達(Elpida)一起採購

，但仍不斷傳出交期遞延消息。

瑞晶原本2月要到貨的機台已遞延至4月交貨，其計劃第2季將導入

45奈米製程；之前則傳出南亞科和華亞科機台交期延後，但公司

澄清前期機台到貨時程順利，只剩下後期機台還未進來，但不會

影響轉換50奈米製程速度。事實上瑞晶原評估旗下8萬片12吋晶圓

產能轉進50奈米製程需要10台機台，但若轉入45奈米程製程，在

減少光罩數後，只剄要6台機台，公司形容這是窮人版製程微縮產

品。

爾必達陣營原本2009年評估要導入50奈米製程，就預定機台設備

，但後來決定跳過50奈米，直攻45奈米製程，爾必達45奈米2009

年底宣量產，瑞晶將在第2季導入生產，2010年底前8萬片產能全

數轉進45奈米製程，第1季會先轉2萬片產能到63奈米XS版本試水

溫，成本可較目前65奈米製程減少20%。

至於南亞科和華亞科正積極轉進50奈米製程，在42奈米製程則將

提前1季導入，其系由美光和南亞科共同研發，該陣營對於42奈米

程相當具信心，認為是目前40奈米製程世代成本競爭力最佳者。

<摘錄電子>