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À³¥Î§÷®Æ¤½¥q¶°¹Î°ÆÁ`µôº[¥b¾ÉÅé²£«~¨Æ·~¸s²§½è¾ã¦X¡BICAPS¡]ª«Ápºô¡B³q°T¡B¨T¨®¡B¹q·½©M·P´ú¾¹¡^©M½U´¹§Þ³NÁ`¸g²z®á¼w¡E·ç°¨¼¯¦è (Sundar Ramamurthy) ªí¥Ü¡AÀ³§÷¥þ·sªº¼Æ¦ì·L¼v§Þ³N (Digital Lithography Technology, DLT) ¬OºÓª½±µº¡¨¬«È¤á¥ý¶i°òªO¥¼¨Óµo®i»Ý¨Dªº¹Ï§Î¤Æ¨t²Î¡C§ÚÌ¥¿¹B¥Î¦Û¤v¦b¤j«¬°òªO»sµ{¤è±ªº±M·~ª¾ÃÑ¡B·~¬É³Ì¼sªxªº²§½è¾ã¦X§Þ³N²Õ¦X¡A¥H¤Î²`«pªº¬ãµo¸ê·½¡A¤Þ»â°ª®Ä¯à¹Bºâ»â°ìªº¦¸¥@¥N³Ð·s¡C
Ushio¥ú¾Ç¸Ñ¨M¤è®×¥þ²y¨Æ·~¸s°õ¦æªøº[Á`¸g²zWilliam F. Mackenzieªí¥Ü¡AUshio¾Ö¦³¶W¹L20¦~ªº«Ê¸ËÀ³¥Î·L¼v¨t²Î«Ø¸m¸gÅç¡A¥þ²y¤w¥æ¥I4000¥x¥H¤Wªº³]³Æ¡CÂǥѳo¦¸·sªºµ²·ù¦X§@¡A¥i¥H³z¹L«ùÄòÂX®iªº»s³y¥ÍºAÅé¨t©M§¹µ½ªº²{³õªA°È°ò¦³]¬I¡A¥[³t·~¬É¹ïDLTªº±Ä¥Î¡A¦P®É¤]§Q¥Î²£«~²Õ¦XªºÂX¥R¡A¬°§Ö³tµo®iªº«Ê¸Ë§Þ³N¬D¾Ô´£¨Ñ§ó¦h¸Ñ¨M¤è®×¡C
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À³§÷¬ODLT¨t²ÎI«á§Þ³Nªº¶}µo¥ýÅX¡A¨Ã±N»PUshio¦@¦P¬ãµo¤Î©w¸q¥¼¨Óªºµo®i¶iµ{¡A«ùÄòP¤O©ó¥ý¶i«Ê¸Ëªº³Ð·s¡A¥H¹F¨ì 1 ·L¦Ì¤Î¨ä¥H¤Uªº½u¼e¡CUshio ±N§Q¥Î¨ä¦¨¼ôªº»s³y©M±¦V«È¤áªº°ò¦³]¬I¡A¥[§Ö DLT ªº±Ä¥Î¡CÂù¤è±N¦X§@¬°«È¤áªº¥ý¶i«Ê¸ËÀ³¥Î¡A´£¨Ñ³Ì¼sªxªº·L¼v¸Ñ¨M¤è®×²Õ¦X¡C |
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¤G¡BARM ±¾µP¦³§U¥«³õ¸êª÷»EµJ IP ±Ú¸s¡A«áÄòÃöª`«ÂI¡H
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